[实用新型]基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片及光谱仪有效
| 申请号： | 202021477816.0 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN212458658U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 崔开宇;郑泽坤;蔡旭升;黄翊东;张巍;冯雪;刘仿 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01J3/433 | 分类号： | G01J3/433;G01J3/02;G01N21/25 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 杨云云 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种基于亚波长高对比度光栅的光谱芯片及光谱仪，所述光谱芯片通过在晶圆级别的图像传感器感光区域制备包含亚波长高对比度光栅结构的光调制层，使光调制层能对待测光进行调制，并将待测光的频谱信息调制到晶圆级别的图像传感器不同像素上，得到包含待测光的频谱信息图像。本实用新型实施例通过在晶圆级别的图像传感器上制备亚波长高对比度光栅，对光的调制能力更强，并将待测光的频谱信息调制到晶圆级别的图像传感器上，使光谱检测不再依赖精密移动的分光部件，不但使光谱检测设备体积和成本降低，也不再需要进行光学部件对准，降低后期维护成本，在晶圆级别的图像传感器上实现单片集成，缩小尺寸，大幅提高器件成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 波长 对比度 光栅 光谱 芯片 光谱仪 | ||
【主权项】：
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