[实用新型]一种新型双沟槽的肖特基二极管有效

专利信息
申请号: 202021477848.0 申请日: 2020-07-24
公开(公告)号: CN212542446U 公开(公告)日: 2021-02-12
发明(设计)人: 薛涛;关仕汉;迟晓丽 申请(专利权)人: 淄博汉林半导体有限公司
主分类号: H01L29/872 分类号: H01L29/872;H01L29/06;H01L29/47
代理公司: 淄博川诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 37275 代理人: 高鹏飞
地址: 255086 山东省淄博市高*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种新型双沟槽的肖特基二极管,包括N+型衬底和N‑型外延层,所述N+型衬底上表面设置有N‑型外延层,所述N型外延层上表面的芯片外圈对称开设有1个或多个降压环,所述N‑型外延层上表面的中心处均匀开设有第一沟槽,所述N‑型外延层上表面位于所述两个第一沟槽之间开设有第二沟槽,所述降压环和第一沟槽内壁设有氧化硅绝缘层,所述降压环和第一沟槽内部均填充有多晶硅;本实用新型通过在N‑型外延层表面设置第一沟槽和第二沟槽,采用双沟槽设计,通过第一沟槽可以在芯片反向通电流时有效阻断电流,通过第二沟槽可有效增大肖特基界面的面积,大大的增加了导电面积减小正向压降,提高产品导通时的效率。
搜索关键词: 一种 新型 沟槽 肖特基 二极管
【主权项】:
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