[实用新型]一种半导体加工模具的检测装置

摘要

本实用新型公开了一种半导体加工模具的检测装置，包括检测台和两个支撑板，两个所述支撑板对称设置在检测台上侧壁两端，两个所述支撑板上侧壁共同固定连接有顶板，所述顶板上侧壁固定设置有水箱，且水箱内壁密封滑动连接有压板，所述压板下侧壁与水箱下侧内壁对称设置有弹簧，且压板与水箱下侧内壁之间设置有适量的液压油，所述水箱侧壁上端固定连通有进水管，所述检测台上放置有镶块，且支撑板侧壁下端对称设置有与镶块匹配的夹紧定位装置。本实用新型利用加入水箱内水的重力实现对镶块的定位夹紧，同时随着检测结束，水量流失又能实现对镶块的自动卸料，避免了传统的伸缩气缸的使用，降低生产制造成本，检测结果精准。