[实用新型]AlGaN基深紫外LED外延片有效
申请号: | 202021484612.X | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN212323022U | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 高芳亮;杨金铭 | 申请(专利权)人: | 深圳市昂德环球科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/10 | 分类号: | H01L33/10;H01L33/00;H01L33/06;H01L33/14;H01L33/32 |
代理公司: | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人: | 武志峰 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了AlGaN基深紫外LED外延片,其中,所述AlGaN基深紫外LED外延片包括:碳化硅衬底、沉积在所述碳化硅衬底上的Ag层、生长在所述Ag层上的AlN缓冲层、生长在所述AlN缓冲层上的AlGaN缓冲层、生长在所述AlGaN缓冲层上的非掺杂AlGaN层、生长在所述非掺杂AlGaN层上的n型掺杂AlGaN层、生长在所述n型掺杂AlGaN层上的AlGaN多量子阱层、生长在所述AlGaN多量子阱层上的电子阻挡层和生长在所述电子阻挡层上的p型掺杂GaN薄膜。本实用新型无需采用剥离工艺,外量子效率得到大幅提升;能减少位错的形成,提高了载流子的辐射复合效率,可得到高导热、高导电、高发光性能深紫外LED;深紫外LED电流分布更加均匀,提高出光效率,同时具有良好的散热能力。 | ||
搜索关键词: | algan 深紫 led 外延 | ||
【主权项】:
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