[实用新型]一种碳化硅冷端烧结炉有效

专利信息
申请号: 202021486486.1 申请日: 2020-07-24
公开(公告)号: CN212778680U 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 焦书锋;韩少军;韩朝军;吴会峰 申请(专利权)人: 登封市金钰电热材料有限公司
主分类号: F27D9/00 分类号: F27D9/00;F27D13/00;F27D7/02;F27D11/02
代理公司: 成都市鼎宏恒业知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51248 代理人: 富丽娟
地址: 450000 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型公开了一种碳化硅冷端烧结炉,涉及电热元件制造技术领域,本实用新型包括冷却炉体,冷却炉体内设置有石墨管,冷却炉体内依次设置有风冷区和水冷区,风冷区内设置有至少一个冷风机,冷风机用于对石墨管冷却,冷却炉体上对应冷风机吹风区域开设有若干散热孔A,水冷区内设置有套设在石墨管上的水冷套,水冷套内装有冷却水,本实用新型通过先风冷再进行水冷的冷却方式,具有逐渐降温冷却、符合碳化硅电热元件冷端冷却工艺、保证产品成品质量的优点。
搜索关键词: 一种 碳化硅 烧结炉
【主权项】:
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