[实用新型]一种改进型干涉装置有效
| 申请号： | 202021496634.8 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN213022852U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 于志伟;张建清;张涵 | 申请（专利权）人： | 杭州春来科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G01N21/45;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311261 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种改进型干涉装置，包括基体、摆臂、角镜、分束镜以及驱动件，所述摆臂可摆动设置于基体上，所述角镜包括分别设置于摆臂两端的第一角镜和第二角镜，所述分束镜设置于第一角镜和第二角镜两者之间，所述驱动件包括设置于基体上的第一磁性件，在摆臂上设置有与第一磁性件对应的第二磁性件。本实用新型具有摆动精度高的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 干涉 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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