[实用新型]一种硅晶圆激光切割承载台用气浮轴结构有效
| 申请号： | 202021520998.5 | 申请日： | 2020-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN214264319U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 陶为银;巩铁建;蔡正道 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本新型涉及一种硅晶圆激光切割承载台用气浮轴结构，包括气浮轴承、承载套、传动芯轴、底托、顶托、连接管头及控制阀，承载套为柱状空心管状结构，其内部设与承载套同轴分布的承载腔，传动芯轴通过承载腔嵌于承载套内，传动芯轴通过气浮轴承与承载腔连接，传动芯轴上端面与顶托下端面垂直连接，下段与底托上端面垂直连接，承载套外侧面设若干连接管头。本新型一方面具有良好的模块结构，可灵活进行零部件更换；另一方面具有良好的定位稳定性，动力传递稳定性好且运行精度高，可有效克服机械震动、工件安装偏心等因素造成造成的传动缺陷，从而极大的提高了激光切割作业的工作精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅晶圆 激光 切割 承载 台用气浮轴 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南通用智能装备有限公司，未经河南通用智能装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021520998.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
