[实用新型]一种细硅粉用三氯氢硅合成炉有效
| 申请号： | 202021524354.3 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN213037420U | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 官健;程茂林 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 赵丽 |
| 地址： | 614000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种细硅粉用三氯氢硅合成炉，属于多晶硅生产技术领域，包括下封头、反应段和上封头，下封头下端设置有硅粉排放口，下封头一侧设置有进气管，下封头与反应段下端连接处设置有喷嘴组件，反应段包括从下到上依次设置的第一反应段、第二反应段和第三反应段，第一反应段、第二反应段和第三反应段外部均设置冷却夹套，第一反应段上设置有细硅粉进料管，第三反应段上部与上封头固定连接，上封头上设有出气管和安全接口。冷氢化产生的废硅粉，将废硅粉重新利用大大提高了废硅粉的价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 细硅粉用三氯氢硅 合成 | ||
【主权项】：
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