[实用新型]基于刚度耦合的低应力Z轴MEMS加速度计有效
| 申请号： | 202021542063.7 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN212483618U | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 周铭;鞠莉娜;黄艳辉;凤瑞 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;丁浩秋 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于刚度耦合的低应力Z轴MEMS加速度计，敏感单元包括质量块、支撑梁和固定梳齿，所述支撑梁的主轴方向角偏离90度，使外力作用下的质量块产生面内偏转，所述固定梳齿的一端通过定齿锚点固定于衬底，所述质量块经支撑梁悬挂于中心锚点，所述中心锚点固定于衬底上，所述质量块包括可动梳齿，所述固定梳齿插设于可动梳齿之间，形成第一梳齿电容和第二梳齿电容，梳齿电容检测质量块面内偏转。该Z轴加速度计的支撑梁的主轴方向角偏离90度，基于支撑梁的刚度耦合原理，使面外加速度作用下的质量块同时产生面内偏转，通过梳齿电容检测该面内偏转完成加速度的检测，具有对称性好、对应力敏感性低、漂移低、非线性小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 刚度 耦合 应力 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
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