[实用新型]一种多边形孔等离子体发生装置有效

专利信息
申请号: 202021544566.8 申请日: 2020-07-30
公开(公告)号: CN212463606U 公开(公告)日: 2021-02-02
发明(设计)人: 胡佳伟;李庆;成星;韩波 申请(专利权)人: 西安空天机电智能制造有限公司
主分类号: H05H1/24 分类号: H05H1/24
代理公司: 西安弘理专利事务所 61214 代理人: 韩玙
地址: 710000 陕西省西安市国家民*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种多边形孔等离子体发生装置,自上而下包括依次紧密贴合的上电极板、介质板、下电极板;介质板包括矩形绝缘薄板,矩形绝缘薄板上均匀开设多个尺寸一致的正多边形的通孔a,矩形绝缘薄板上表面位于每个通孔a的边缘连接与通孔a形状一致的凸台,每个凸台连接上电极板;上电极板包括上矩形金属板薄板,每个上矩形金属板薄板上开设与通孔a尺寸、位置一致的通孔b,每个通孔b内嵌接一个凸台;下电极板包括下矩形金属板薄板,每个下矩形金属板薄板上开设与通孔a尺寸、位置一致的通孔c。能够产生大面积均匀的等离子体放电区域,还具有安装简单、生产效率高、生产成本低、结构刚性好、制造维护简单、环境适应性强的优点。
搜索关键词: 一种 多边形 等离子体 发生 装置
【主权项】:
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