[实用新型]类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面等光程成像检测装置有效
| 申请号： | 202021549292.1 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN212808013U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 郑恒;陈武;颜少彬;段亚凡;廖廷俤 | 申请（专利权）人： | 泉州师范学院 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 吴志龙;蔡学俊 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种类迈克尔逊干涉仪结构的晶粒相邻面等光程成像检测装置，包括光源、纵向同轴设置的相机、远心成像镜头、半透半反射平行平板合像器以及玻璃载物转盘、半导体晶粒，半透半反射平行平板合像器同一水平高度设置有平行平板补偿器及位于半导体晶粒正上方的天面直角转向棱镜，半导体晶粒同一水平高度与半透半反射平行平板合像器正下方设置有侧面直角转向棱镜，该装置在满足双面成像完全等光程共焦的条件下，获得相邻面的空间分离成像，能通过调节平行平板补偿器与光轴的夹角来校正补偿误差，从而可以实现半导体晶粒相邻双面同时完全等光程共焦成像检测，结构简单紧凑，装配调试容易，可靠性佳。 | ||
| 搜索关键词： | 迈克 干涉仪 结构 晶粒 相邻 光程 成像 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于泉州师范学院，未经泉州师范学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021549292.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型实用女式泳衣
- 下一篇：一种用于衬于圆饼底部包装纸的翻折装置
