[实用新型]异质结太阳能电池镀膜设备及镀膜系统

摘要

本实用新型公开了一种异质结太阳能电池镀膜设备及镀膜系统，属于太阳能电池片加工领域。本实用新型的异质结太阳能电池镀膜设备，用于异质结太阳能电池基体的薄膜沉积，其包括工艺腔，工艺腔包括：至少有两个本征工艺腔，用于本征层硅薄膜工艺的沉积，多个本征工艺腔分步骤完成本征层硅薄膜的沉积；以及至少一个掺杂工艺腔，用于N型硅薄膜或P型硅薄膜工艺的沉积；所述工艺腔的腔体主要由主壳体和顶盖构成，工艺气体从顶盖通入到腔体内，在主壳体侧壁设置隔断阀，各个腔体之间采用隔断阀相隔绝。本实用新型把本征工艺层分步加工，从而能够降低各个腔体的加工时间，大大提高了整体加工效率，适于商业化使用。