[实用新型]一种砷化镓晶体生长用续料装置有效
申请号: | 202021586338.7 | 申请日: | 2020-08-03 |
公开(公告)号: | CN213447379U | 公开(公告)日: | 2021-06-15 |
发明(设计)人: | 马争荣;王建玲 | 申请(专利权)人: | 高密普特电子设备有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/42 |
代理公司: | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人: | 殷盛江 |
地址: | 261500 山东省潍坊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型属于砷化镓晶体生产设备技术领域,提供了一种砷化镓晶体生长用续料装置,包括多温区炉本体,所述多温区炉本体的上部设置续料机构;所述续料机构包括放料框、操作板、收料斗、续料管和连接套,所述放料框的下部对应设置所述收料斗,所述收料斗的下部设置所述续料管,所述续料管的端部设置所述连接套,且所述连接套沿所述续料管的长度方向转动设置;所述放料框的内部设置捅料机构,所述捅料机构包括固定板、伸缩杆和下料杆,所述伸缩杆的下部设置所述下料杆。本实用新型提供的一种砷化镓晶体生长用续料装置,利于进行续料,密封效果佳,提高砷化镓晶体的生产质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 砷化镓 晶体生长 用续料 装置 | ||
【主权项】:
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