[实用新型]晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手有效
| 申请号： | 202021587613.7 | 申请日： | 2020-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN212947867U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 李继忠;李述周;朱春 | 申请（专利权）人： | 江苏科沛达半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06 |
| 代理公司： | 常州品益专利代理事务所(普通合伙) 32401 | 代理人： | 张岳 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手，包括吸盘罩、吸盘外板、吸盘内板及密封圈，所述吸盘外板套设在吸盘罩底端，吸盘外板与吸盘罩固定连接，吸盘外板底端均匀开设有气孔及气道，所密封圈嵌入吸盘外板底端外缘，所述吸盘内板固定在吸盘罩内，吸盘内板内开设有吸气通道。该晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手采用特殊设计的吸盘，在进行下压吸附晶圆片时，不会造成晶圆片损坏，从而保证了晶圆片的质量，同时能够保证晶圆片与吸盘处于同一圆心，从而保证后续腐蚀精度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆片 吸盘 机构 吸附 机械手 | ||
【主权项】：
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