[实用新型]一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 202021592583.9 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN212800517U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王福平 | 申请（专利权）人： | 爱发科真空技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 阴知见 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种膜厚修正机构及蒸发镀膜设备，膜厚修正机构包括：修正板；跳动组件，所述跳动组件与所述修正板连接，且，所述跳动组件可支撑并调节所述修正板的使用位置；其中，所述修正板包括第一状态和第二状态，其中，所述第一状态下，所述修正板处于横向水平位置；所述第二状态下，所述修正板处于纵向垂直位置。该种用于蒸发镀膜设备的膜厚修正机构，镀膜时修正板跳上升起，未镀膜时跳下摆动，与腔体壁平行，腔体内的空间无遮挡，适应于台车等升降机械的作业，实现较高腔体的镀锅的自动化装取，提高工作效率，减少作业人员的登高作业，提高安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 修正 机构 蒸发 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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