[实用新型]一种微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：相互连接的波导装置和反应腔，其中，波导装置包括微波天线，微波天线包括进气管、水冷结构、天线下盘和分气盘，其中，水冷结构套设在进气管的外部；分气盘设置在天线下盘的下端；进气管的下端穿过天线下盘与分气盘连接；反应腔设置在波导装置下方，天线下盘位于反应腔内部。本实用新型的微波等离子体化学气相沉积装置，微波天线与反应腔直接相连，不用额外设置介质窗口，微波辐射直接传递至反应腔中，可以降低微波能量损失。