[实用新型]一种位置信息采集系统及曝光系统有效

专利信息
申请号: 202021595399.X 申请日: 2020-08-04
公开(公告)号: CN213956258U 公开(公告)日: 2021-08-13
发明(设计)人: 张峰;李伟成;张雷 申请(专利权)人: 苏州源卓光电科技有限公司
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G08C23/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215026 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种位置信息采集系统及曝光系统,所述位置信息采集系统包括读数头和位置检测板、电光转换模块、光电转换模块和光纤,所述读数头连接电光转换模块,所述位置检测板连接光电转换模块,所述电光转换模块和所述光电转换模块通过光纤连接。所述曝光系统包括移动平台系统、投图控制系统,通过上述位置信息采集系统连接所述移动平台系统和投图控制系统。本实用新型利用光纤传输位置信息,有效减少了电磁干扰对位置检测板的影响,进而获得稳定可靠的位置信号。
搜索关键词: 一种 位置 信息 采集 系统 曝光
【主权项】:
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