[实用新型]一种晶圆挑片台

摘要

本实用新型涉及一种晶圆挑片台，包括支撑台、弹压组件以及托盘，支撑台上具有卡设晶圆的卡槽，弹压组件连接在支撑台上并能将晶圆压紧在卡槽内，托盘连接在支撑台的一侧。本实用新型中的晶圆挑片台，利用支撑台和弹压组件能够实现对晶圆的固定，如此可以释放操作人员的一只手，无需一边持握晶圆的同时还要顶出晶粒，利用该晶圆挑片台固定晶圆后，操作人员可以一只手顶出固定后的晶圆上的晶粒，另一只手拿着吸笔吸取晶粒。并且托盘设置在支撑台的一侧，缩短了晶粒的移动距离。该晶圆挑片台结构简单，但是大大方便了工作人员的挑片操作，减少了人员挑片的时间，并且减少了工作人员挑片操作失误对芯片良率的影响。