[实用新型]一种晶锭测量装置有效
申请号: | 202021613090.9 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN212779161U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 李帅;刘圆圆;周敏;姜兴刚;黄治成 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B21/08 | 分类号: | G01B21/08;G01B11/08;G01J3/46;G01N21/88 |
代理公司: | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人: | 刘晓佳 |
地址: | 250118 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请提供了一种晶锭测量装置,包括:载物台,被构造成用于承载晶锭;厚度测量组件,包括厚度测量仪和位于载物台外侧的第一滑道,厚度测量仪的底部具有与第一滑道配合的滑轮;红外测距组件,包括两个红外测距仪,两个红外测距仪的红外线发射器分别位于晶锭同一直径的两端;辨色组件,包括第一光源和色差仪,第一光源的照射方向朝向晶锭的侧部,色差仪的位置靠近于晶锭侧部的边缘。本申请提供的晶锭测量装置结构设计紧凑,可操作性强,能够在不移动晶锭的条件下,同时对晶锭的厚度、直径以及颜色进行测量,并且还能整体更好的观察晶锭的表面缺陷,相较于现有的人工分别测量的方式,有效提高了晶锭的测量的效率和精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 装置 | ||
【主权项】:
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