[实用新型]一种半开式循环水回水集水箱有效
| 申请号： | 202021615776.1 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN212931029U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;张志远;宋琪;周清波 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | F27D9/00 | 分类号： | F27D9/00;F27D21/00;F27D21/04;C23C16/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王楠 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半开式循环水回水集水箱，属于化学气相沉积炉技术领域，装置包括集水箱主体，集水箱主体为倒置梯形结构，集水箱主体顶部连接有回水管路，回水管路的数量为至少两个，回水管路一端连接至集水箱主体顶部，另一端连接至沉积炉各降温点，集水箱主体底部连接有排水管道，排水管道用于将循环水排至冷却降温系统，排水管道端部设有过滤器，过滤器用于过滤掉自沉积炉内随循环水排除的杂质。本申请结构能够集中观察循环水出水情况，并对回水进行一定过滤保证回水无污染，提高冷却设备的寿命，同时监测循环水出水温度、流量，出现异常自动报警并停止加热，确保沉积炉冷却效果良好，同时杜绝设备损坏情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半开 循环 回水 集水 | ||
【主权项】：
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