[实用新型]一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置有效
| 申请号： | 202021618351.6 | 申请日： | 2020-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN213813315U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 王贞福;李特 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 胡乐 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于巴条芯片腔面和电极显微观察的固定装置，解决了现有固定装置易损伤芯片或固定不可靠的问题，并支持完整全面地检验巴条芯片。该装置包括固定基座，所述固定基座具有台阶；台阶顶面设置有多个第一限位平底凹槽，用于平放容纳巴条芯片并限制巴条芯片在放置平面偏转；所述第一限位平底凹槽的底面设置有至少一个吸附孔；台阶竖立面设置有多个第二限位平底凹槽，用于竖放容纳巴条芯片使巴条芯片腔面朝上，并限制巴条芯片在放置平面偏转，所述第二限位平底凹槽与台阶顶面相接形成相应的缺口，第二限位平底凹槽的底面设置有至少两个吸附孔；所述固定基座的内部分别设置有两路真空通道、侧面相应设置有两处真空通道接口。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 芯片 电极 显微 观察 固定 装置 | ||
【主权项】：
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