[实用新型]一种紫外振镜同轴光路系统

摘要

本实用新型提供一种紫外振镜同轴光路系统，包括激光头、分光折主体、摄像镜头、CCD、振镜过渡板、振镜头和F‑θ透镜，激光头通过固定块安装分光折主体左侧，摄像镜头垂直设置在分光折主体正上方，CCD安装在摄像镜头上方，振镜过渡板和振镜头均安装在分光折主体右侧，且振镜头安装在振镜过渡板上，F‑θ透镜安装在振镜头下方。本实用新型的有益效果：本实用新型通过在振镜头下方设置采用消色差设计的F‑θ透镜，以消除振镜温漂，同时通过在分光折主体上方设置摄像镜头和CCD，以形成与激光加工光路同轴的CCD成像光路系统，以实现“所见即所得”的机器视觉定位激光加工，并进一步满足有高精度定位要求的激光加工。