[实用新型]一种全新的物理气相沉积钽腔体在线清洁装置

摘要

本实用新型公开了一种全新的物理气相沉积钽腔体在线清洁装置，包括腔体钽线圈，腔体钽线圈包括绕线柱和固定在绕线柱上下方的顶座和底座，绕线柱上缠绕有线圈，线圈上安装有接线端口，接线端口均分为进线口和出线口，进线口位于线圈的左侧，出线口位于线圈的右侧，相邻两组进线口和出线口等距设置且外接有通电线，底座呈盘状结构且包括内盘和外盘，内盘上表面开设有安装槽，绕线柱的下端螺纹固定在安装槽内，内盘和外盘之间连接有若干组支撑片，相邻两组支撑片之间形成有槽口。本实用新型设计的在线清洁的装置，可以定时地去除粘附在腔体钽线圈上的附属物，从而不会发生尖端放电，提高制程的质量，延长机器的保养周期。