[实用新型]一种12英寸物理气相沉积钛腔体加热底座保护配件有效
| 申请号： | 202021699830.5 | 申请日： | 2020-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN212925159U | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 刘祥超 | 申请（专利权）人： | 上海知昊电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 俞晨波 |
| 地址： | 201202 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种12英寸物理气相沉积钛腔体加热底座保护配件，包括：配件本体，所述配件本体整体呈圆环状结构设置且在其表面设置刻花，所述刻花呈十字型结构并倾斜设置，所述刻花与配件本体之间通过雕刻的方式一体成型，所述刻花的内部设有凹槽且凹槽呈十字型结构设置，所述刻花以配件本体的中心处呈圆周均匀分布。本实用新型通过在配件本体表面做刻花处理，增大接触面积，能粘附更多的附属物，同时分散这些附着物的应力分布，附着的附属物不容易剥落，减小颗粒产生的几率，提高制程的质量，延长腔体保养的周期，从而提高机器的使用率，减小成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 12 英寸 物理 沉积 钛腔体 加热 底座 保护 配件 | ||
【主权项】：
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