[实用新型]晶圆夹持到位检测机构有效

专利信息
申请号: 202021701243.5 申请日: 2020-08-16
公开(公告)号: CN212848319U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 巩铁建;陶为银 申请(专利权)人: 河南通用智能装备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/687
代理公司: 郑州中原专利事务所有限公司 41109 代理人: 张春
地址: 450001 河南省郑州市高新技术产业*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型提供一种晶圆夹持到位检测机构,包括晶圆夹持机构,晶圆夹持机构包括滑动设置在机架上的夹持连接板、上夹持板、下夹持板以及夹持气缸;夹持气缸的活塞端与下夹持板相连、夹持气缸的缸体和上夹持板都固定在夹持连接板上,上夹持板和下夹持板之间设置夹持板弹簧;上夹持板和下夹持板夹空状态下,夹持板弹簧将下夹持板拉回到与上夹持板接触;上夹持板上设置夹持板位移传感器,下夹持板设置与其配合的夹持板位移检测条。可以检测出其间有没有夹持晶圆托盘,防止夹空现象。
搜索关键词: 夹持 到位 检测 机构
【主权项】:
暂无信息
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