[实用新型]一种晶圆旋转上料定位结构有效
| 申请号： | 202021701251.X | 申请日： | 2020-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN213504769U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 时文飞;余健;刘志豪 | 申请（专利权）人： | 郑州轨道交通信息技术研究院 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G47/91;B65G47/74 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 张春 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆旋转上料定位结构，包括滑动设置在机架上的晶圆夹持机构，以及转动设置在机架上的转运吸盘；晶圆夹持机构将晶圆托盘移动到转运位停下，中间避障位的转运吸盘从晶圆夹持机构的对侧转动到转运位并吸附晶圆托盘；晶圆夹持机构松开晶圆托盘并继续直线运动移开之后，转运吸盘将晶圆托盘转动到加工转运位。不在转运位设置放置晶圆托盘的托料架，直接在晶圆夹持机构夹持状态下使用转动吸盘吸附晶圆托盘。节省了工序，不需要重新定位。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 料定 结构 | ||
【主权项】：
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