[实用新型]一种晶圆旋转上料上支撑结构

摘要

本实用新型提供一种晶圆旋转上料上支撑结构，包括转动设置在机架上转运连接体，转运连接体连接转运吸盘，转运吸盘包括吸盘架，吸盘架上方设置吸盘架安装板，吸盘架安装板和吸盘架之间设置连接杆；吸盘架中心位置设置避让圆孔，避让圆孔内设置调节凸轮，调节凸轮的凸轮轴转动设置在吸盘架安装板上，吸盘架上沿周向设置至少两个只能沿着吸盘架径向移动的吸盘调节杆，吸盘调节杆和吸盘架之间设置弹簧复位机构使吸盘调节杆一端与调节凸轮外表面始终接触，吸盘调节杆末端设置与负压气源连通的负压吸嘴。转动凸轮凸轮，多个吸盘调节杆同时沿着径向移动相同的距离。