[实用新型]一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置有效
| 申请号： | 202021705279.0 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN213193100U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 侯鹏;高嵩;韩江江;李文豪;李世海;杨荣博;阮方;田维峰 | 申请（专利权）人： | 大连华邦化学有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/02 | 分类号： | B01D53/02;C01B23/00 |
| 代理公司： | 大连至诚专利代理事务所(特殊普通合伙) 21242 | 代理人： | 杨威;刘丽媛 |
| 地址： | 116021 辽宁省大连市甘井子*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种ppb级超高纯度氩气/氦气的纯化装置，包括进气管路、第一换热器、吸气反应器、第二换热器、脱氢罐和出气管路，所述进气管路与所述第一换热器的冷媒入口相连，所述第一换热器的冷媒出口与所述吸气反应器相连，所述吸气反应器内设有吸气剂，所述吸气反应器处设有用于加热吸气剂的加热元件，所述吸气反应器的出口与所述第一换热器的热媒入口相连，所述第一换热器的热媒出口与所述第二换热器的热媒入口相连，所述第二换热器的热媒出口与所述脱氢罐相连，所述脱氢罐与所述出气管路相连。本实用新型中加高效吸气剂脱氢罐，可脱除吸气反应器后端产品氩气和氦气中的杂质氢至ppb级，保证产品气出口氢含量指标不波动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ppb 超高 纯度 氦气 纯化 装置 | ||
【主权项】：
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