[实用新型]一种硅片的旋转预矫正装置有效
| 申请号： | 202021708120.4 | 申请日： | 2020-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN212433582U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 黄佳 | 申请（专利权）人： | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G47/22;B65G47/82 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片的旋转预矫正装置，包括机架，所述机架上设有升降驱动装置驱动的放置平台，所述放置平台上定位有硅片盛放盒，所述机架上设有水平支架，所述水平支架上设有竖向驱动机构，所述竖向驱动机构上驱动有支撑座，所述支撑座上转动安装有矫正机构，所述矫正机构与所述硅片盛放盒的开口端同侧设置。通过竖向驱动机构带动支撑座上升、并靠近硅片盛放盒内的硅片，之后通过转动的矫正机构对硅片施力、并使硅片与硅片盛放盒上的端臂相抵，进而在往光刻机移送硅片前，完成了(位置发生变化的)硅片的复位矫正工作，提高了硅片移送至光刻区域的精确度，有效保障了光刻机正常工作的连续性和工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 旋转 矫正 装置 | ||
【主权项】：
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