[实用新型]半导体生产用测温杆支撑架有效
| 申请号： | 202021711471.0 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN212513364U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 魏兴政;程国军 | 申请（专利权）人： | 济南兰星电子有限公司 |
| 主分类号： | G01K1/14 | 分类号： | G01K1/14;G01B5/02 |
| 代理公司： | 济南誉琨知识产权代理事务所(普通合伙) 37278 | 代理人： | 晏达峰 |
| 地址： | 250200 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体生产应用设备领域，涉及测温杆，尤其涉及一种半导体生产用测温杆支撑架。包括底座以及竖直设置在底座上方的立杆，所述立杆上设置有支撑杆，所述支撑杆与立杆之间可活动固定连接，所述支撑杆和立杆之间垂直设置，所述支撑杆上设置有刻度尺，所述刻度尺沿测温杆放置方向水平设置，所述支撑杆远离立杆的一端设置有测温杆放置槽。本实用新型提供一种半导体生产用测温杆支撑架，通过支撑架的设置，有效的将刻度尺和测温杆进行结合，进而解决现有测温杆在使用过程中所存在的测量麻烦的技术问题，同时，本实用新型结构简单、加工方便、适合大规模推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 生产 测温 支撑架 | ||
【主权项】：
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