[实用新型]半导体二极管生产用扩散炉匀气板

摘要

本实用新型属于半导体二极管加工应用设备领域，涉及扩散炉，尤其涉及一种半导体二极管生产用扩散炉匀气板。包括用于设置在扩散炉炉管内的匀气板本体，所述匀气板本体呈圆盘状设置，所述匀气板本体的一侧设置有底座，所述底座呈弧形板状设置，所述底座与扩散炉炉管的内壁贴合设置，所述匀气板上设置有匀气孔，所述匀气孔均匀的分布在匀气板上。本实用新型通过提供一种半导体二极管生产用扩散炉匀气板，利用匀气板本体的设置，有效实现了对高压小截面气流的阻挡，通过匀气孔的设置，使气流得到均匀的分散，进而提高扩散气氛均匀性，达到改善产品均匀性及质量的提升的目的。