[实用新型]一种超大幅面紫外激光远心镜头

摘要

本实用新型公开了一种超大幅面紫外激光远心镜头，包括沿光轴由入瞳EP到像面IP依次间隔设置的第一凹凹透镜、第二凹凸透镜、第三凹凸透镜、第四凹凸透镜、第五凸凸透镜和平面保护玻璃，五个透镜的焦距与聚焦镜头总焦距满足关系式：‑1.7f1/f‑1.9、‑1.0f2/f‑1.5、+1.5f3/f+2.0、+2.0f4/f+2.5、+1.5f5/f+2.0，该远心镜头具有315±5mm的总焦距f、432.9±5mm的工作距离D7，各透镜和平面保护玻璃的直径依次增大，镜筒内壁上相应地设置有逐层台阶。可以实现激光束垂直于工作面聚焦，具有大的成像区和大的总焦距，在预定波长和预定激光束直径的条件下，物镜在预定大小的成像区域内不具有或具有仅非常小的光学成像失真。