[实用新型]一种真空镀膜用转架装置有效

专利信息
申请号: 202021713495.X 申请日: 2020-08-17
公开(公告)号: CN213113484U 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 薛大伟;张少斌 申请(专利权)人: 常州星宇车灯股份有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50
代理公司: 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 代理人: 毛姗
地址: 213022 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型属于真空镀膜设备技术领域,尤其涉及一种真空镀膜用转架装置,包括旋转框架、内侧挡片、下外侧挡片和上外侧挡片,旋转框架包括框架柱、旋转轴、下封板和上封板,框架柱的顶端与上封板的底端固定连接,框架柱的底端与下封板的顶端固定连接,上封板和下封板均固定套设在旋转轴上,框架柱的数量为至少两根,至少两根框架柱沿旋转轴的周向分布;内侧挡片固定设置在框架柱上,下外侧挡片固定设置在下封板上,上外侧挡片固定设置在上封板上,且下外侧挡片和上外侧挡片均位于相邻的两个框架柱之间;相邻的两个框架柱之间设置有夹具,内侧挡片位于夹具的内侧,下外侧挡片和上外侧挡片均位于夹具的外侧。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 用转架 装置
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