[实用新型]一种光室腔体逆向截止垫圈结构及光谱仪

摘要

本实用新型公开了一种光室腔体逆向截止垫圈结构及光谱仪，该光室腔体逆向截止垫圈结构包括连接在分光室上的逆向截止阀，所述逆向截止阀内设有单向开口密封脚垫，所述单向开口密封脚垫为片状结构，用于在真空泵启动时顺沿真空泵的吸力单向张开和在真泵空关闭时利用压强差闭合，本实用新型的有益效果是：其不需要额外设置过滤装置以及电磁截止阀，减少了多余的装置成本，节约了电力，完全保护了光室腔体的洁净程度，保护了腔体内部元器件不受油料的污染，保证光谱仪的使用寿命，进一步提高了设备稳定性和准确性。