[实用新型]一种RF射频电源过温保护装置有效
申请号: | 202021752745.0 | 申请日: | 2020-08-20 |
公开(公告)号: | CN212910545U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 吴海荣 | 申请(专利权)人: | 苏州普业仪器有限公司 |
主分类号: | H05K7/20 | 分类号: | H05K7/20 |
代理公司: | 深圳紫晴专利代理事务所(普通合伙) 44646 | 代理人: | 陈映辉 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于RF射频电源技术领域,公开了一种RF射频电源过温保护装置,包括RF射频电源散热块,所述RF射频电源散热块置于RF射频电源上,所述RF射频电源散热块内设置有温度传感器,所述温度传感器通过导线电性连接有温控系统。本方案通过将温度传感器内置于RF射频电源散热块内,通过检测RF射频电源散热块的温度,并通过温控系统的配合,间接监控RF电源的工作状态,从而实现对RF射频电源的过温保护。 | ||
搜索关键词: | 一种 rf 射频 电源 保护装置 | ||
【主权项】:
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