[实用新型]一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 202021776793.3 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN212316232U | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 马淑莹;余海春;戴晓东;陈韶华 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种可以兼容不同形状基板的溅射镀膜设备，其特征在于：所述搬入室中设置有若干所述基板的置放位，所述若干置放位呈环形布置，若干所述置放位在所述搬入室的位置均可动并满足于每个所述置放位均可逐一对应于所述升降室且通过所述升降室与所述真空镀膜室进行基板交互的要求。本实用新型的优点是：可以很好地兼容板状和筒状甚至于各种异形基板，不仅大大提高了设备的利用率，更是提供了一种新的基板缓存方式；结构简单合理、通用性强、安拆方便，适于推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可以 兼容 不同 形状 溅射 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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