[实用新型]一种提高UV LED出光效率的外延片有效

专利信息
申请号: 202021786531.5 申请日: 2020-08-24
公开(公告)号: CN212517228U 公开(公告)日: 2021-02-09
发明(设计)人: 徐良;刘建哲;史伟言;孙海定;郭炜;夏建白 申请(专利权)人: 黄山博蓝特半导体科技有限公司
主分类号: H01L33/12 分类号: H01L33/12;H01L33/04;H01L33/00
代理公司: 芜湖众汇知识产权代理事务所(普通合伙) 34128 代理人: 曹宏筠
地址: 245000 安徽省黄山*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种提高UV LED出光效率的外延片,所述外延片从下到上依次为图形化蓝宝石衬底、超晶格缓冲层、3D GaN层、N型GaN层、N型AlGaN层、InGaN/GaN多量子阱层、P型AlGaN层、P型GaN接触层;所述超晶格缓冲层为由若干对AlN/AlGaN/GaN/AlGaN交替堆叠组成的超晶格结构;所述图形化蓝宝石衬底为镀有AlN的图形化蓝宝石衬底。通过本实用新型的外延片结构,一方面可以降低GaN外延层中的位错密度,从而提高量子阱中的辐射复合效率;另一方面在缓冲层质量提高对整个多量子阱的发光产生更少的吸光效应,从而可以有效的提高光的反射,提高UV LED的出光效率。
搜索关键词: 一种 提高 uv led 效率 外延
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