[实用新型]适用于化学抛光工艺槽的三向摇摆机构有效

专利信息
申请号: 202021809632.X 申请日: 2020-08-26
公开(公告)号: CN213113516U 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 俞涛涛;曹红伟 申请(专利权)人: 余姚市日昇环保科技有限公司
主分类号: C23F3/00 分类号: C23F3/00;C25D11/02
代理公司: 北京化育知识产权代理有限公司 11833 代理人: 尹均利
地址: 315000 浙江省宁波*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种适用于化学抛光工艺槽的三向摇摆机构,它包括水平移动机构和摇摆移动机构;所述水平移动机构包括多个滑轮架支座以及水平移动架;所述水平移动架的两侧均穿装在滑轮架支座内,在水平移动架至少一侧的架体上设置有驱动臂,所述驱动臂与设置在化学抛光工艺槽外部的水平驱动机构连接,使得水平移动架在水平驱动机构的驱动下沿滑轮架支座水平往复运动;所述摇摆移动机构包括滑轮摇摆机构、氧化线固定座以及摇摆驱动机构,该滑轮摇摆机构在摇摆驱动机构的驱动下使得阳极氧化线挂架在化学抛光工艺槽内做出与水平移动架运动方向相垂直的水平摇摆和上下提升运动。
搜索关键词: 适用于 化学抛光 工艺 摇摆 机构
【主权项】:
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