[实用新型]坩埚喷涂机器人定位架有效
申请号: | 202021809675.8 | 申请日: | 2020-08-26 |
公开(公告)号: | CN213194233U | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 周晓康;鞠磊 | 申请(专利权)人: | 宜昌南玻硅材料有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;B05B13/06 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人: | 成钢 |
地址: | 443007 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种坩埚喷涂机器人定位架,包括多个支撑柱,支撑柱底部可拆卸地设有底座,支撑柱上套接有纵向滑动套管,每个纵向滑动套管上设有两个滑动杆,两个滑动杆呈V形设置;底座上设有两个滑动杆,两个滑动杆呈V形设置;多个支撑柱上配备的滑动杆围合形成了多边形结构,相邻两个支撑柱之间的滑动杆通过连接杆滑动连接。本实用新型通用性高,适合目前市场多数矩形坩埚;结构简单,所有配件均可拆卸,方便收纳。适合目前市场上大尺寸硅片、铸造单晶等对坩埚尺寸要求变化高、喷涂细节要求高的喷涂机器人进行频繁对位程序调节。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 喷涂 机器人 定位 | ||
【主权项】:
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