[实用新型]一种利用真空吸嘴的石英晶体移载装置有效
申请号: | 202021815414.7 | 申请日: | 2020-08-27 |
公开(公告)号: | CN213140557U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 喻信东;李天宝;汪晓虎;谢凡;鲁壑;崔婷婷 | 申请(专利权)人: | 随州泰华电子科技有限公司 |
主分类号: | B65G47/91 | 分类号: | B65G47/91 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 441300 湖北省随*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 一种利用真空吸嘴的石英晶体移载装置,包括机架,所述机架顶部连接有竖直向下的导向柱,导向柱上从上至下依次套接有固定法兰、吸附圆盘和破真空密封固定件,吸附圆盘外缘上均匀分布有垂直于导向柱的真空吸嘴,机架底部设置有电磁阀,电磁阀、真空转换接头、破真空密封固定件和吸附圆盘之间通过真空管形成连通的气路,破真空密封固定件内设置有与真空吸嘴个数对应的气孔,每个气孔通过真空管与真空吸嘴连接形成一个管路。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 真空 石英 晶体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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