[实用新型]抛光温度调节装置和化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 202021815464.5 | 申请日： | 2020-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN211589697U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 孟松林;魏聪;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 华海清科（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/015;B24B57/02;B24B49/14;B24B55/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种抛光温度调节装置和化学机械抛光设备，其中抛光温度调节装置包括调温臂、基座和驱动机构；所述基座与所述调温臂固定连接，所述基座与所述驱动机构连接以带动所述调温臂上下移动；所述调温臂的底表面的材料为高导热率材料，所述调温臂设于抛光垫上方并可下移至与抛光垫表面接触或与抛光垫表面的抛光液接触，所述调温臂的内部设有流体通道用于流通一定温度的流体以控制所述底表面的温度从而调节与所述底表面接触的抛光垫或抛光液的抛光温度。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 温度 调节 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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