[实用新型]一种氮化硼坩埚氧化装置及氮化硼坩埚的安装结构

摘要

本实用新型公开了一种氮化硼坩埚氧化装置，包括加热套、加热管、惰性气体进管、管塞、氧气进管、氧气出管和支架；加热套安装在支架上；加热管水平地设置在加热套内；加热管一端为封端结构、另一端为敞口结构，管塞活动设置在加热管敞口一端内侧、且管塞与加热管内侧壁之间留有间隙，加热管内底部设有坩埚支撑座；惰性气体进管的进气端位于加热管外、出气端从加热管的封端一端伸入加热管内，氧气进管的进气端位于加热管外、出气端穿过管塞伸入加热管内，氧气出管的出气端位于加热管外、进气端从加热管的封端一端伸入加热管内。上述装置可以有效氧化氮化硼坩埚内壁，同时有效防止氮化硼坩埚外壁被氧化，延长了坩埚的使用寿命，节省了成本，方便了脱模。