[实用新型]一种光电探测器的黑硅光敏层用加工设备有效
申请号: | 202021834693.1 | 申请日: | 2020-08-28 |
公开(公告)号: | CN213255322U | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 欧忠华 | 申请(专利权)人: | 深圳市绿聚墨电子科技有限公司 |
主分类号: | B05B15/50 | 分类号: | B05B15/50;H01L31/18;H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳驿航知识产权代理事务所(普通合伙) 44605 | 代理人: | 杨伦 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光电探测器的黑硅光敏层用加工设备,包括喷涂机体,所述喷涂机体上安装有传送带,所述传送带底部安装有安装底座,所述安装底座上固定安装有烘干罩体,所述烘干罩体内固定安装有烘干机构,所述烘干罩体上表面开设有安装槽,所述安装槽内固定安装有排风扇,所述安装底座下表面固定安装有调节机构,所述固定支柱固定安装于安装底座下表面,所述固定支柱内开设有活动槽,所述活动槽内安装有活动支柱,所述固定支柱一端边缘处安装有安装调节螺栓,所述固定支柱另一端固定安装有防滑底座。本实用新型所述的一种光电探测器的黑硅光敏层用加工设备,属于黑硅加工设备领域,能够快速将喷涂好的的黑硅光敏层烘干。 | ||
搜索关键词: | 一种 光电 探测器 光敏 加工 设备 | ||
【主权项】:
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