[实用新型]一种单侧法兰结构的长晶炉

摘要

本实用新型提供了一种单侧法兰结构的长晶炉，所述长晶炉包括石英钟罩和下盖，所述石英钟罩具有开口端、封闭端和纵向延伸的罩体，所述罩体内形成反应腔室，所述下盖与石英钟罩的开口端通过工字型法兰连接，所述工字型法兰与石英钟罩之间及所述工字型法兰与下盖之间均使用密封圈密封。本申请使用石英钟罩代替现有的炉体和上盖，无需上侧法兰结构，只需下侧的下盖与石英钟罩之间的法兰及密封圈，密封点减少，使得生产过程发生泄漏的点也少，不仅提高了密封效果，且降低了设备故障率，本申请的结构简单，制作成本低。