[实用新型]一种晶圆移动抓取机构有效
| 申请号： | 202021854447.2 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN212947834U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 涂可嘉;张德青;刘明群;赵原 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/00;B25J15/08 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王峰 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体制造领域内的一种晶圆移动抓取机构，包括固定在机械手上的移动支架，包括相互对应设置的上夹爪和下夹爪，下夹爪与移动支架固定连接，所述下夹爪包括安装部和定位部，安装部通过紧固件与移动支架相固定，所述定位部上设置有向上凸起的矩形定位凸台，定位凸台的左右两侧分别设置有左侧板和右侧板；移动支架包括水平的连接部一和竖直的连接部二，所述连接部二上固定连接有压紧气缸，所述上夹爪与压紧气缸的工作端相固定，上夹爪包括基体部和压靠部，所述基体部呈L形，基体部通过紧固件与压紧气缸的工作端相固定，所述压靠部与定位部相对应设置。本实用新型能够夹紧固定晶圆，并且防止金属颗粒产生静电对晶圆造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 移动 抓取 机构 | ||
【主权项】：
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