[实用新型]一种硅片顶升机构

摘要

本实用新型公开了一种硅片顶升机构,包括承托组件、顶齿安装块和若干顶齿组件，所述顶齿安装块安装于承托组件上侧，所述顶齿组件平行设置，所述顶齿组件包括平行设置的顶齿和梳齿，所述顶齿安装块上固设有若干插槽，所述插槽内至少安装一组顶齿和一组梳齿，所述顶齿和梳齿之间设置有用于放置硅片的间隙，所述顶齿和梳齿顶部固设有用于放置硅片的缺口,本实用新型采用螺钉对顶齿组件进行锁紧，不仅可以精准定位顶齿和梳齿的位置，且相邻顶齿和梳齿位置之间不受影响，当其中一个顶齿损坏时，将螺钉旋松，进而打开锁紧装置，将顶齿或梳齿从插槽中抽出进行更换，提高了更换的效率和质量。