[实用新型]一种真空镀膜辊冷镀装置有效
申请号: | 202021864865.X | 申请日: | 2020-08-31 |
公开(公告)号: | CN212834015U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 李晓哲;丁磊;闫森闯 | 申请(专利权)人: | 厦门玉通光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/24 |
代理公司: | 厦门市天富勤知识产权代理事务所(普通合伙) 35244 | 代理人: | 唐绍烈 |
地址: | 361000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开一种真空镀膜辊冷镀装置,包括箱体和机芯,机芯通过箱体的侧边开口安装在箱体中,机芯包括放料辊、导辊、镀膜辊、承载舟、蒸发源、展平辊和收料辊;放料辊和收料辊安装在机芯内部靠上位置,两个导辊分别安装在放料辊和收料辊下,镀膜辊和展平辊分别设置在一个的导辊下,并且镀膜辊设置在放料辊下;镀膜辊的最下端与展平辊的最下端平齐在一水平面上;承载舟与蒸发源安装在镀膜辊和展平辊中线上且位于机芯内部最底端;镀膜辊还包括注入口、安全阀、密实盖和镀膜辊空腔,安全阀套设在注入口上,密实盖套设在安全阀上。本案的镀膜辊可提供温度更低、温度波动更稳定的镀膜条件,且本案的箱体可快速抽真空,并维持良好的真空环境。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 辊冷镀 装置 | ||
【主权项】:
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