[实用新型]一种离子溅射镀膜机急削工装有效
| 申请号： | 202021866888.4 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN213113474U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 商炜 | 申请（专利权）人： | 镇江晶鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 李玉婷 |
| 地址： | 212000 江苏省镇江市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种离子溅射镀膜机急削工装，包括：左调节板、右调节板、横梁、支撑板、电机，所述支撑板与横梁为T字形连接，所述支撑板的一端部与横梁的居中处连接；所述左调节板和右调节板对称设置在远离支撑板的横梁的两端；所述电机设置在支撑板的上部远离横梁的一端。本实用新型所述的离子溅射镀膜机急削工装，结构设计简单，易于制造使用；可通过控制靶材裸露的面积来控制薄膜沉积的速率，操作便捷；通过电机控制，其电机原理坩埚，防止电机受到镀膜影响，延长工装的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 溅射 镀膜 机急削 工装 | ||
【主权项】：
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