[实用新型]一种涂层机的载料装置有效
| 申请号： | 202021871617.8 | 申请日： | 2020-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN213825684U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王俊锋;袁明;谢文荣;秦兴耀;王锋 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C13/00 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 袁敏怡 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种涂层机的载料装置，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩的底壁，液冷载台组件滑动设置于真空罩底壁，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台组件和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装。本实用新型能够有效、快速地对液冷载台和真空罩底壁实现降温，使得液冷载台能够长期处于高温环境下工作，避免液冷载台烧损，还能够加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性，刀具表面的薄膜沉积效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 涂层 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东鼎泰机器人科技有限公司，未经广东鼎泰机器人科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021871617.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种圆织机的卷取机构
- 下一篇：一种阳台鱼菜共生种植柜
