[实用新型]一种单晶炉硅液的防泄漏结构有效
申请号: | 202021879236.4 | 申请日: | 2020-09-01 |
公开(公告)号: | CN212895091U | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 吴雄;张忠华;张俊;凌继贝 | 申请(专利权)人: | 内蒙古豪安能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06;G08B3/10 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 014100 内蒙古自治区包头*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉硅液的防泄漏结构,包括加热箱、控制器、支撑脚、底板、石墨埚、加热器、防液漏警报装置和支撑柱,通过在单晶炉底部的加热箱内部设置了防液漏警报装置,防液漏警报装置设置于石墨埚底部的加热器底部,当石墨埚底部漏液时,通过防液漏警报装置的集液槽对硅液进行收集,且硅液进入至防液漏警报装置的警报启动机构内,通过警报启动机构启动蜂鸣器进行警报提示,且通过防液漏警报装置的储液罐对漏出的硅液进行收集,避免硅液低落,警报提示速度快,且制造成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉硅液 泄漏 结构 | ||
【主权项】:
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